特許
J-GLOBAL ID：200903014940708032

角速度センサ

発明者：
寺田 二郎

寺田 二郎 について

, 
田村 雅巳

田村 雅巳 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222423
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050751
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 駆動及び検出のための櫛歯構造の電極を形成する必要もなく且つ角速度印加に基づく信号以外は除去可能な薄型な角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 XY面内にある基部1からY軸とその反対の方向に延出した第1、第2の音叉片2a,2bと前記第3、第4の音叉片3a,3bの間を通りY軸及びその反対方向にそれぞれ延出し連結された屈曲振動片6と、前記第1、第2、第3、第4の音叉片がXY面内で1次モードの音叉振動をするように前記第2、第4の音叉片2b,3bに設けられた駆動電極12a,12b,13a,13bと、Z軸周りの角速度が印加された時、前記屈曲振動片6に設けた第5の付加質量部7の中心を節にして起こる屈曲振動片6のXY面内の2次モードの屈曲変形を検出するための検出電極10a,10b,11a,11bとを備えたものである。
請求項（抜粋）：
XY面内に設けられた基部と、XY面内において前記基部からY軸と反対の方向に延出した第1、第2の音叉片と、前記第1、第2の音叉片とそれぞれ相対向するように前記基部からY軸方向に延出した第3、第4の音叉片と、前記第1、第3の音叉片の先端からX軸方向に延出した第1、第3の付加質量部と、前記第2、第4の音叉片の先端からX軸方向と反対の方向に延出した第2、第4の付加質量部と、前記基部から前記第1、第2の音叉片の間と前記第3、第4の音叉片の間を通るようにY軸方向及びY軸方向と反対の方向にそれぞれ延出し連結された屈曲振動片と、前記屈曲振動片の中間からX軸方向及びX軸方向と反対の方向に張り出すように形成された第5の付加質量部と、前記第1、第2、第3、第4の音叉片がXY面内で1次モードの音叉振動をするように前記第2、第4の音叉片に設けられた駆動手段と、Z軸周りの角速度が印加された時、前記第5の付加質量部の中心を節にして起こる前記屈曲振動片のXY面内の2次モードの屈曲変形を検出するための検出手段とを備えた角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (11件)：
2F105AA02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CC20 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11
引用特許：
審査官引用 (8件)
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