特許
J-GLOBAL ID：200903036081042691

複合センサ

発明者：
判治 元康

判治 元康 について


出願人/特許権者：
キンセキ株式会社

キンセキ株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135026
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325912
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 角速度を高精度で検出する。角速度に加えて加速度も検出する。【解決手段】 枝部A2,A3に励振電極を形成する。枝部A4〜A7に検出電極を形成する。A5,A7を傾斜形状とする。励振電極へ交流電圧eを印加し、A2,A3をY軸方向へ振幅をもつ伸縮振動をさせる。これによってA1をX-Y平面に平行にY軸方向へ振幅をもって屈曲振動させ、A4〜A7をX-Y平面に平行にX軸方向へ振幅をもって屈曲振動させる。Y軸の回りに回転すると、コリオリの力によりA4〜A7がZ軸方向成分をもって屈曲振動し、A4,A6の検出電極から角速度に応じた電圧信号が得られる。Z軸方向の加速度が作用すると、A5,A7に慣性によるねじれ現象を始発として屈曲振動が生じ、A5,A7の検出電極から加速度に応じた電圧信号が得られる。
請求項（抜粋）：
ひとつのセンシング素子構造体(センサ)を用いて、角速度と加速度を同時に、かつ、独立して検出することを特徴とした複合センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09
引用特許：
審査官引用 (7件)
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