水中ローダおよびそれを用いた基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川崎実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311437
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135700
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】カセットからの基板の飛び出しを効果的に防止でき、かつ、基板の取り出しを効率的に行うことができる水中ローダ、およびそれを用いた基板処理装置を提供する。【解決手段】複数枚の基板Wは、カセットに積層状態で収容され、水槽12内に浸漬されて待機させられる。搬送ロボット20による搬出を行う際には、カセットが浮上させられる。水槽12内には、カセットの昇降方向に沿ってカセットの各段の基板Wがカセットから飛び出すことを規制する飛び出し規制部材70が設けられている。【効果】水槽12内で水流が生じても、カセットから基板Wが飛び出すことがない。カセット内の任意の基板Wを取り出すためにカセットを上昇させる際、基板Wをカセット内に規制しながら、カセットを上昇させることができる。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を積層状態で収容することができる複数段の基板収容部を有するカセットを浸漬可能な水槽と、カセット内の基板を上記水槽に浸漬したり、上記水槽の水面の上方に浮上させたりするためにカセットを昇降させるカセット昇降機構と、このカセット昇降機構によるカセットの昇降方向に沿って上記水槽内に配置され、カセットの各段の基板収容部の基板がカセットから飛び出すことを規制する飛び出し規制部材とを含むことを特徴とする水中ローダ。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , G11B 7/26 , H01L 21/304 642 , H01L 21/304 648

FI (5件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 L , G11B 7/26 , H01L 21/304 642 A , H01L 21/304 648 B

Fターム (21件)：

5D121AA02 , 5D121BB31 , 5D121GG18 , 5D121GG28 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA01 , 5F031EA09 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031GA47 , 5F031HA72 , 5F031JA05 , 5F031JA23 , 5F031MA16 , 5F031MA22 , 5F031MA23 , 5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板処理装置、基板搬送装置および基板搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-062210 出願人：東京エレクトロン株式会社
ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-003204 出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
基板の保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-016453 出願人：株式会社芝浦製作所

全件表示

前のページに戻る