特許
J-GLOBAL ID：200903015061678363
単結晶の製造方法及び単結晶製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183672
公開番号（公開出願番号）：特開2005-015287
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】CZ法によってチャンバ内で単結晶を原料融液から引上げる際に、単結晶の直胴部を成長させる時に、原料融液の融液面と遮熱部材との距離を正確に所定値に補正し、単結晶の直胴部を成長させることができ、それにより、例えば、より確実に所望の欠陥領域を有する単結晶を製造することのできる単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】チョクラルスキー法によってチャンバ内で単結晶を原料融液から引上げて製造する方法において、少なくとも、前記単結晶の直胴部を成長させる前に、前記単結晶のコーン部の重量を測定し、該測定結果に基づいて、前記原料融液の融液面と前記チャンバ内で原料融液面に対向配置された遮熱部材との距離を、ルツボ移動速度を変更可能なルツボ駆動手段及び/又は遮熱部材を移動可能な遮熱部材駆動手段により所定値に補正し、単結晶の直胴部を成長させることを特徴とする単結晶の製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法によってチャンバ内で単結晶を原料融液から引上げて製造する方法において、少なくとも、前記単結晶の直胴部を成長させる前に、前記単結晶のコーン部の重量を測定し、該測定結果に基づいて、前記原料融液の融液面と前記チャンバ内で原料融液面に対向配置された遮熱部材との距離を、ルツボ移動速度を変更可能なルツボ駆動手段及び/又は遮熱部材を移動可能な遮熱部材駆動手段により所定値に補正し、単結晶の直胴部を成長させることを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B15/28
, C30B29/06 502J
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EA02
, 4G077EG15
, 4G077EH07
, 4G077EH09
, 4G077HA12
, 4G077PF27
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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