特許
J-GLOBAL ID：200903015100731374

光学素子の製造方法、光学素子、フライアイインテグレータの製造方法、フライアイインテグレータ、投影露光装置の照明装置、及び投影露光装置

発明者：
梅田 俊郎

梅田 俊郎 について

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菊池 広文

菊池 広文 について

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小川 浩二

小川 浩二 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-339479
公開番号（公開出願番号）：特開2006-146083
出願日： 2004年11月24日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】本発明は、光学素子間の位置合わせ精度を簡単かつ確実に向上させることを目的とする。【解決手段】予め決められた波長の光に対し透明な基板(11)の少なくとも一方の面(11A)上に、周期構造の光学面を形成する光学面の形成手順と、前記基板(11)の少なくとも一方の面(11A)の非有効領域内に、平面部(11a)を形成する手順とを有する。平面部には、マーク11a-2を高精度にパターニングすることができる。作業者は、そのマーク11a-2の位置を光学顕微鏡によって検出しながら、光学素子間の位置合わせを行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
予め決められた波長の光に対し透明な基板の少なくとも一方の面上に、周期構造の光学面を形成する光学面の形成手順と、 前記周期構造の光学面が形成された前記基板の少なくとも一方の面の非有効領域内に、平面部を形成する平面部の形成手順と を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 3/00 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
G02B3/00 A ,  G03F7/20 501
Fターム (5件)：
2H097AA06 ,  2H097BB01 ,  2H097CA06 ,  2H097KA13 ,  2H097LA17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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