磁気抵抗効果素子及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240938
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154618
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】高出力かつ高耐蝕性のスピンバルブ膜を提供する。【解決手段】第一の磁性層の上下両側に非磁性層を介して第二の磁性層があり、更にその上下両側に前記第二の磁性層と接する形で反強磁性層が設けられる構造を持つ二重構造の磁気抵抗効果素子において、反強磁性層の少なくとも一方をPdPtMn合金とする。また,PdPtMn反強磁性層の上下両側に,第二の磁性層,非磁性層,第一の磁性層を上下対称に設けて,スピンバルブ膜を薄くしてもよい。

請求項（抜粋）：

1つ以上の磁性膜からなる第一の磁性層があり、該第一の磁性層の上下両側に非磁性層を介して1つ以上の磁性膜からなる第二の磁性層があり、更に該第一の磁性層,該非磁性層及び該第二の磁性層を含む積層の上下両側に前記第二の磁性層と接する形で反強磁性層が設けられる構造を持つ二重構造の磁気抵抗効果素子において、前記反強磁性層の少なくとも一方がPd-Pt-Mn合金であることを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (4件)：

H01F 10/08 , G11B 5/39 , H01L 43/08 , H01L 43/12

FI (4件)：

H01F 10/08 , G11B 5/39 , H01L 43/08 Z , H01L 43/12

引用特許：

審査官引用 (7件)

二重スピン・バルブ磁気抵抗センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-275141 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
交換結合膜および磁気抵抗効果素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-026775 出願人：株式会社東芝
磁気抵抗センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187788 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

全件表示

前のページに戻る