特許

J-GLOBAL ID：200903015299732757

光学的形状測定装置

発明者： 大澤 康宏
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 磯村 雅俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-075480
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004425
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 照射角度を、照射されたパターン光の光量の情報から求める光学的形状測定方法において、光量のS/Nの劣化を防止して、形状測定精度が劣化するという問題を解消した光学的形状測定装置を提供すること。【解決手段】 互いに重なりのない複数のスリット状の部分領域に分割された測定領域15の各々を照明する照明手段4と、各測定領域毎の反射光を検知する検知手段10と、この検知手段10で検知した各反射光の光量13から、前記照明手段4と検知手段10の視差を利用して前記各測定領域15-1〜15-6の形状データを推定する形状推定手段11と、推定された測定領域の形状データ16における部分領域の曖昧さを除去して各部分領域の曖昧さのない形状データ14を求める形状補正手段12とからなる光学的形状測定装置。

請求項（抜粋）：

照明手段と検知手段とを結ぶ視差方向に対して垂直に分割され、互いに重なりのない複数のスリット状の部分測定領域に分割された測定領域内の各部分測定領域の各々に1種類以上の光パターンを照明する照明手段と、前記各部分測定領域に照明された光パターンの反射光を検知する検知手段と、この検知手段で検知した反射光の光量から、前記各部分測定領域の番号との対応の曖昧さを残しながらも、前記照明手段と検知手段の視差を利用して前記各部分測定領域の形状データを推定する形状推定手段と、推定された各部分測定領域の前記形状データにおける曖昧さを除去し、各部分測定領域の曖昧さのない形状データを求める形状補正手段からなることを特徴とする光学的形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/25 ,  G03B 15/00 ,  G03B 15/02 ,  H04N 9/07

FI (8件)：

G03B 15/00 T ,  G03B 15/02 F ,  G03B 15/02 G ,  G03B 15/02 Q ,  G03B 15/02 R ,  G03B 15/02 Z ,  H04N 9/07 Z ,  G01B 11/24 E

Fターム (22件)：

2F065AA51 ,  2F065DD04 ,  2F065EE08 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG24 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ03 ,  5C065AA01 ,  5C065BB41 ,  5C065CC01 ,  5C065CC08 ,  5C065DD01 ,  5C065EE06 ,  5C065FF05

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 形状計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-192166   出願人：シーケーディ株式会社, 株式会社ネクスタ
• 物体の三次元形状計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-192452   出願人：富士ファコム制御株式会社, 富士電機株式会社
• 形状検出方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-289153   出願人：松下電工株式会社
• 特開平3-192474
  
• 実時間レンジファインダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-208146   出願人：松下電器産業株式会社
• 3次元画像撮影装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-247796   出願人：富士ゼロックス株式会社