マトリクス型アクチュエータ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370940
公開番号（公開出願番号）：特開2003-159697
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
要約：

【要約】【課題】低電圧で大変位が得られ、応答速度が速く、且つ、発生力が大きく、又、実装性に優れ、高集積化が可能であり、光変調器、光スイッチ、電気スイッチ、マイクロバルブ、搬送装置、ポンプ、液滴吐出装置、画像表示装置、等に好ましく適用することが可能な、圧電/電歪アクチュエータを提供すること。【解決手段】厚肉のセラミック基体2上に、圧電/電歪体4と少なくとも一対の電極18,19とからなる複数の圧電/電歪素子31が形成されてなり、圧電/電歪体4の変位により駆動し、複数の圧電/電歪素子31が、セラミック基体2とそれぞれ一体的に接合され、且つ、互いに独立して二次元に整列配置されてなることを特徴とするマトリクス型アクチュエータ1の提供による。

請求項（抜粋）：

厚肉のセラミック基体上に、圧電/電歪体と少なくとも一対の電極とからなる複数の圧電/電歪素子が形成されてなり、前記圧電/電歪体の変位により駆動する圧電/電歪アクチュエータであって、前記複数の圧電/電歪素子が、前記セラミック基体とそれぞれ一体的に接合され、且つ、互いに独立して二次元に整列配置されてなることを特徴とするマトリクス型アクチュエータ。

IPC (7件)：

B81B 3/00 , B81B 7/04 , B81C 1/00 , G02B 26/08 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H02N 2/00

FI (8件)：

B81B 3/00 , B81B 7/04 , B81C 1/00 , G02B 26/08 E , G02B 26/08 J , H02N 2/00 B , H01L 41/08 J , H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

2H041AA16 , 2H041AA17 , 2H041AB14 , 2H041AB19 , 2H041AB38 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (6件)

マイクロアクチュエータおよびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301254 出願人：キヤノン株式会社
アクチュエーチドミラーアレーおよびそれを含む光投射システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-094579 出願人：大宇電子株式會社
積層型電歪効果素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243423 出願人：日本電気株式会社

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