特許
J-GLOBAL ID：200903015452253863

アクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者：
守谷 壮一

守谷 壮一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079894
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272124
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：
【要約】【課題】 圧電体層の絶縁破壊を防止したアクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 下電極60の端部が圧電素子300の実質的な駆動部となる圧電体能動部320の端部となり、下電極60の端部に圧電体能動部320の外側に向かって下電極60の膜厚が漸小する膜厚漸小部61を設け、下電極60端部での圧電体層70の膜厚の低下を防止する。
請求項（抜粋）：
基板の一方面側に絶縁層を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層の表面に設けられた上電極からなる圧電素子を具備するアクチュエータ装置において、前記下電極の端部が前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の端部となり、当該下電極の端部には前記圧電体能動部の外側に向かって前記下電極の膜厚が漸小する膜厚漸小部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (13件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057AP75 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (13件)
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