特許
J-GLOBAL ID：200903015606778204
電子放出素子のクリーニング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-514296
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518682
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：
【要約】電子放出デバイス(30)の電子放出素子(10)から汚染物(12)を取除くための複数の方法を提供する。一つの方法には、一般に電子放出素子を作動させることによって、汚染物をガス状の産物(14)に変えて除去する過程が含まれる。別の方法には、汚染物を更なる物質(16)に変えて、その後に除去する過程が含まれる。更に別の方法には、電子放出素子上に表面コーティング(18または20)を形成する過程が含まれる。汚染物は、表面コーティングから直接除去されるか、或いは各表面コーティングの少なくとも一部を取除くことによって除去される。
請求項（抜粋）：
所定の方法であって、 選択された気相の物質が汚染物質と実質的に接触するように、電子放出デバイスを含む製造物のチャンバー内に、前記気相の物質を導入することを必要とする方法によって、前記電子放出デバイスの電子放出素子に積重なっている汚染物質を前記電子放出素子から離れるガス状の産物に転化する過程と、 前記チャンバーからガス状の産物を概ね除去する過程とを含むことを特徴とする方法。
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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