接続装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123452
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318247
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】接触端子に被検査対象が接触しても該接触端子の磨耗が少なく、且つ検査対象の電極金属が接触端子の付着することを極力少なくすることができ、しかも電気抵抗が小さくて安定した出力が得られる接続装置を提供する。【解決手段】複数個の接触端子を有し、この接触端子によって検査対象と電気的に接続して信号を入出力するための接続装置であって、前記接触端子の少なくとも先端近傍の表面には、炭化物を形成する性質を有する金属元素を含有させた炭素皮膜が被覆されてなる。

請求項（抜粋）：

複数個の接触端子を有し、この接触端子によって検査対象と電気的に接続して信号を入出力するための接続装置であって、前記接触端子の少なくとも先端近傍の表面には、炭化物を形成する性質を有する金属元素を含有させた炭素皮膜が被覆されてなることを特徴とする接続装置。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 D , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

Fターム (16件)：

2G003AA07 , 2G003AG03 , 2G003AG12 , 2G003AH04 , 2G003AH07 , 2G011AA02 , 2G011AA16 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AE02 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA70 , 4M106DD03 , 4M106DD10 , 4M106DD30

引用特許：

審査官引用 (12件)

プローブおよびこのプローブを用いたプローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-106974 出願人：日本電子材料株式会社
特開平4-351968
特開平4-354144

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