薄型基板搬送多関節ロボット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040693
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238779
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】アームの旋回半径を小さくするとともにZ軸移動及びY軸移動装置を簡略化してコンパクトなロボットを提供すること。【解決手段】ロボット1は機台2に回動可能に支持され垂直方向に旋回可能な垂直旋回アーム体3と、垂直旋回アーム体3の後端部に回動可能に支持され水平方向に旋回可能な水平旋回アーム体4とを有し、水平旋回アーム体4の後端にハンド部7が水平方向に旋回可能に取り付けられている。垂直旋回アーム体3は第1垂直旋回アーム31と第2垂直旋回アーム32とを有し、水平旋回アーム体4は移動機台41と移動機台41上に水平方向に旋回される2列のアーム体50A・50Bが配置されている。それぞれのアーム体50A・50B上にはハンド部7のハンド71A・71Bが取り付けられる。

請求項（抜粋）：

薄型基板を支持して次工程に搬送可能に構成される薄型基板搬送多関節ロボットであって、水平方向に旋回可能な水平旋回アーム群と、垂直方向に旋回可能な垂直旋回アーム群とを有し、前記水平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが配置され、前記垂直旋回アーム群が機台に支持されるとともに前記水平旋回アーム群と回動可能に連結されることを特徴とする薄型基板搬送多関節ロボット。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-263466 出願人：国際電気株式会社
基板保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-088780 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-212275 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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