特許
J-GLOBAL ID：200903016065946644
エロージョンプロファイルターゲット、ターゲットの製造方法及びターゲット-バッキングプレート組立構造体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小越 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365938
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166054
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 ターゲットのスパッタライフを通じて膜のユニフォーミティ(膜厚の均一性)を良好にするとともに、パーティクルの発生が少なく、スパッタリング中のターゲットの変形がなく、さらにはターゲットの寿命が長いエロージョンプロファイルターゲット、ターゲットの製造方法及びターゲット-バッキングプレートを提供する。【解決手段】 スパッタリングによって深くエロージョンされるターゲットの領域がより厚く、その厚さがそれ以外の平行な部分の厚さの1.5倍以内であることを特徴とするエロージョンプロファイルターゲット。
請求項（抜粋）：
スパッタリングによって深くエロージョンされるターゲットの領域がより厚く、その厚さがそれ以外の平行な部分の厚さの1.5倍以内であることを特徴とするエロージョンプロファイルターゲット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/34 B
, H01L 21/285 S
4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC12
, 4K029DC22
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB14
, 4M104BB17
, 4M104BB18
, 4M104DD40
, 4M104HH20
