フォトレジスト組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157896
公開番号（公開出願番号）：特開平6-348002
出願日： 1993年06月03日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【構成】下記式(1)で表わされる1-エトキシ-2-プロパノールを主成分とする溶媒を含有することを特徴とするフォトレジスト組成物。【化1】【効果】本発明のフォトレジスト組成物によれば、所望する幅広い膜厚で平坦性に優れたレジスト膜を形成することかできる。

請求項（抜粋）：