特許
J-GLOBAL ID：200903016345213863

LSAW伝搬特性測定方法及び測定装置

発明者：
櫛引 淳一

櫛引 淳一 について

, 
小野 雄

小野 雄 について


出願人/特許権者：
櫛引 淳一

櫛引 淳一 について


代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320932
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131295
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】水カプラ中の温度分布により生じる温度の測定誤差を補正し、LSAW速度の高精度測定を実現する。【解決手段】予め2本の熱電対を用いてカプラ内の温度分布を測定することにより温度補正パラメータを求める。更に、カプラ内の温度分布が変動するような測定条件の場合は、測定したV(z)曲線を利用して、超音波の伝搬領域における水中の縦波の波数の変化をモニターし、カプラ温度及び縦波速度の変化を高精度に求める。
請求項（抜粋）：
集束超音波ビームを音響カプラとしての水カプラを介して音響レンズにより被検査試料に照射し、その反射信号である干渉信号の、超音波デバイスと試料間の相対距離zに対する変化を、zの関数であるV(z)曲線として得て、そのV(z)曲線を解析することにより、漏洩弾性表面波(LSAW)の伝搬特性である位相速度と伝搬減衰を求めるLSAW伝搬特性測定方法において、(a) 被検査試料について予め上記音響レンズの開口直下領域内の水カプラ温度TAMと上記音響レンズの近傍の水カプラ温度TBMを測定し、その差分温度ΔTMを得るステップと、(b) 上記被検査試料について上記音響レンズ近傍の水カプラ温度TBMを測定すると共に、V(z)曲線を測定し、そのzに対する干渉周期Δzを求めるステップと、(c) 上記被検査試料について上記音響レンズ開口直下領域内における水カプラ温度TAMを推定し、その温度TAMでの上記水カプラ中の縦波速度VWを既知のデータ表に基づいて決定するステップと、(d) 上記決定した縦波速度VWと、上記干渉周期Δzと、超音波周波数fとから漏洩弾性表面波速度VLSAWを計算により求めるステップ、とを含むことを特徴とするLSAW伝搬特性測定方法。
Fターム (9件)：
2G047BA07 ,  2G047BC02 ,  2G047BC03 ,  2G047CB01 ,  2G047CB03 ,  2G047FA01 ,  2G047GB25 ,  2G047GE02 ,  2G047GG43
引用特許：
審査官引用 (6件)
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