ネガ型感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347019
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166870
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【目的】高解像度で矩形のパターンを形成することができ、しかも感度、現像性、寸法忠実度等に優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】感放射線性樹脂組成物は、(イ)アルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物および/またはアルコキシメチル化メラミン化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有し、かつ該アルカリ可溶性樹脂が、重量平均分子量5,000を超え100,000以下および分散度1.3以下のポリ(p-ヒドロキシスチレン)で代表されるヒドロキシスチレン系樹脂を含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が100〜50モル%、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000を超え100,000以下、分散度が1.3以下である樹脂(A)(但し、下記樹脂(B)を除く。)、および下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、かつ下記式(1)で表される繰返し単位の数をn、下記式(2)で表される繰返し単位の数をmとしたとき、n/m=35/65〜95/5の条件を満たす樹脂(B)から選ばれる少なくとも1種のアルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化メラミン化合物から選ばれる少なくとも1種の架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】〔式(2)において、R1は炭素数1〜6の非環式もしくは環式のアルキル基、炭素数7〜8のアラルキル基またはフェニル基を示し、R2は水素原子または炭素数1〜6の非環式もしくは環式のアルキル基を示す。〕

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

化学増幅型レジスト溶液
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-048634 出願人：日本合成ゴム株式会社
ネガ型パターン形成材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-125679 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-121845 出願人：日本合成ゴム株式会社

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