特許
J-GLOBAL ID：200903016576562585
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208538
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038038
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 直線性誤差の問題が生じ難く、製造上の加工精度がセンサーの測定精度を決定することがない新規な構成からなる静電容量型を含む加速度センサの提供【解決手段】 3個の固定電極を持つセンサヘッドを用いて各電極からの信号をデジタル演算することにより、X、Y、Zの直交した3軸方向の加速度の検出が可能で、センサ上に規定されるX-Y-Z直交座標系に作用する3軸方向加速度Ax、Ay、Azに対し、各々の加速度に対し、感度を有する最低1組の電極対を持つ、3組の電極対から構成される静電容量型を含む加速度センサ。
請求項（抜粋）：
センサ上に予め規定したX-Y-Z直交座標系に作用する3軸方向の加速度Ax、Ay、Azに対して、それぞれ個別に感度を有する少なくとも1組の電極対をもつ、3組の電極対から構成される加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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