液晶表示パネルの製造方法及び液晶表示パネル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262267
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101987
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 TFT等のスイッチング素子の下側からの戻り光等の光に対する遮光性能と、該スイッチング素子のスイッチング特性とを改善し得る、アクティブマトリクス駆動方式の液晶表示パネルを提供すること。【解決手段】第1基板(1)上に、順に、遮光層(3)、第1層間絶縁層(41)、チャネル層(32)、ゲート絶縁膜(33)、ゲート電極(31)を形成する際に、工程(3)に示すように、第1層間絶縁層41の表面部を所定厚さだけエッチングにより取り除き、工程(4)に示すように、エッチングされた第1層間絶縁層41上にチャネル層(32)を形成する。

請求項（抜粋）：

一対の第1及び第2基板と、該第1及び第2基板間に挟持された液晶と、前記第1基板の前記液晶に対面する側にマトリクス状に設けられた複数の透明な画素電極と、各画素電極に対応して複数の信号電極と複数のスイッチング素子が形成され、前記信号電極からのデータに基づいて該スイッチング素子を介して前記画素電極に電圧が印加される液晶表示パネルの製造方法であって、前記第1基板と前記スイッチング素子との間で、前記複数のスイッチング素子に夫々対向する前記第1基板上の位置に高融点金属からなる遮光層を形成する工程と、該遮光層上に絶縁層を形成する工程と、該絶縁層の表面部のエッチングを行う工程と、エッチング後の前記絶縁層上にチャネル層を有する前記複数のスイッチング素子を形成する工程と、を備えたことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1335 500 , G09F 9/30 348 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1335 500 , G09F 9/30 348 A , H01L 29/78 612 Z

引用特許：

審査官引用 (9件)

アクティブマトリクス型表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-326103 出願人：シャープ株式会社
特開昭54-061949
特開昭57-043434

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