特許
J-GLOBAL ID：200903023441041956

ヒータとウェハ加熱装置及びその製造方法

発明者：
中村 恒彦

中村 恒彦 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156188
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340439
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】ウェハ表面の温度差が大きくウェハ面内の温度差を0.3°Cにまで小さくすることは困難であった。【解決手段】板状体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、前記抵抗発熱体の帯の長手方向に略並行な溝を有し、前記帯に帯の位置決め表示部を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、前記抵抗発熱体は、帯の長手方向に略並行な溝を有するとともに、所定箇所に位置決め表示部を備えたことを特徴とするヒータ。
IPC (5件)：
H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H05B3/10 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74
FI (5件)：
H01L21/02 Z ,  H05B3/10 A ,  H05B3/20 393 ,  H05B3/74 ,  H01L21/30 567
Fターム (23件)：
3K034AA02 ,  3K034AA22 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC12 ,  3K034BC29 ,  3K034CA02 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB36 ,  3K092QB40 ,  3K092QB43 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092VV18 ,  3K092VV22 ,  5F046KA04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)

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