特許
J-GLOBAL ID：200903016708071012

慣性駆動型アクチュエータ

発明者：
三田 信

三田 信 について

, 
年吉 洋

年吉 洋 について


出願人/特許権者：
独立行政法人 宇宙航空研究開発機構

独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 について


代理人 (5件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜 ,  平野 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-017902
公開番号（公開出願番号）：特開2006-211767
出願日： 2005年01月26日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 小型軽量で2次元方向に精度よく駆動可能なマイクロアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 慣性駆動型アクチュエータ(10)は、外枠(11)と、外枠の内側の内枠(12)と、内枠の内側の可動マス(15)と、外枠と前記内枠を結合する外側支持バネ(13)と、内枠と可動マスを結合する内側支持バネ(14)と、可動マスと間隔をおいて可動マスの4方に配置された2対の駆動電極(16,17)と、駆動電極と可動マスとの間に電圧を印加する電源回路(19)とを備え、駆動電極と可動マスとの間に電圧を印加して、可動マスを静電引力により駆動電極に引き付け、そのとき発生する慣性力によりアクチュエータ全体を移動させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
外枠と、 前記外枠の内側の内枠と、 前記内枠の内側の可動マスと、 前記外枠と前記内枠を結合する外側支持バネと、 前記内枠と前記可動マスを結合する内側支持バネと、 前記可動マスと間隔をおいて前記可動マスの4方に配置された2対の駆動電極と、 前記駆動電極と前記可動マスとの間に電圧を印加するための電源回路とを備え、 前記駆動電極と前記可動マスとの間に電圧を印加して、前記可動マスを静電引力により前記駆動電極に引き付け、そのとき発生する慣性力によりアクチュエータ全体を移動させることを特徴とする慣性駆動型アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 13/00 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (3件)：
H02N13/00 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (4件)
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