特許
J-GLOBAL ID:200903016749215401
超純水製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-228884
公開番号(公開出願番号):特開平9-070598
出願日: 1995年09月06日
公開日(公表日): 1997年03月18日
要約:
【要約】【課題】 微生物の異常繁殖による処理系の閉塞を招くことなく、回収排水に微生物処理を施して再利用でき、かつ、TOCが1ppb以下の超純水を得ることができる超純水製造装置を提供することにある。【解決手段】 この超純水製造装置は、嫌気有機物処理部12を有する下部と、開口16を持つ分離板WBを介して上記下部の上に配置されており、好気有機物処理部1を含んでいる生物処理装置を有する上部を備えている。下部の嫌気性微生物と上部の好気性微生物とが微生物の栄養源を消費するから、微生物が繁殖し難い被処理水を得ることができる。また、上記微生物でTOCだけでなく有機窒素化合物を処理して、導電率が低い被処理水を得ることができる。
請求項(抜粋):
原水の前処理装置と1次純水製造装置と2次純水製造装置を備える超純水製造装置において、上記前処理装置は、嫌気有機物処理部を有する下部と、開口を持つ分離板を介して上記下部の上に配置されており、好気有機物処理部を含んでいる生物処理装置を有する上部とを備えていることを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件):
C02F 9/00 501
, C02F 9/00 503
, C02F 3/30
FI (3件):
C02F 9/00 501 F
, C02F 9/00 503 B
, C02F 3/30 A
引用特許: