特許
J-GLOBAL ID：200903016767511743
平面ディスプレイ用隔壁の形成方法および平面ディスプレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-078766
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261005
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】高精細かつ高アスペクト比の平面ディスプレイ用隔壁を形成する際に、蛇行や剥がれ、パターン太りや残膜形成といった問題が発生しない露光量マージンを拡大でき、かつ必要露光量の増大が少ない平面ディスプレイ用隔壁の形成方法を提供する。 【解決手段】少なくともガラス基板上に第1の感光性ペーストを塗布、乾燥して第1の感光性組成物層を形成する工程、前記第1の感光性組成物層上に第2の感光性ペーストを塗布、乾燥して第2の感光性組成物層を形成する工程、前記第1の感光性組成物層および第2の感光性組成物層を同時に露光および現像する工程、ならびに焼成を行う工程を前記の順に含む平面ディスプレイ用隔壁の形成方法であって、前記第1の感光性ペーストの感度特性値γ1と第2の感光性ペーストの感度特性値γ2が、γ1>γ2を満たすことを特徴とする平面ディスプレイ用隔壁の形成方法。 【選択図】なし
請求項（抜粋）：
少なくともガラス基板上に第1の感光性ペーストを塗布、乾燥して第1の感光性組成物層を形成する工程、第1の感光性組成物層上に第2の感光性ペーストを塗布、乾燥して第2の感光性組成物層を形成する工程、第1の感光性組成物層および第2の感光性組成物層を同時に露光し、現像してパターンを形成する工程、得られたパターンを焼成する工程をこの順に含む平面ディスプレイ用隔壁の形成方法であって、前記第1の感光性ペーストの感度特性値γ1と第2の感光性ペーストの感度特性値γ2が、下記式(1)を満たすことを特徴とする平面ディスプレイ用隔壁の形成方法。
γ1>γ2 (1)
ここで、γn(nは1または2)は各感光性ペーストを塗布、乾燥して得た初期厚さdn0の塗膜に対し、露光量Enで露光後、さらに現像を行った後の残膜厚さをdn、硬化開始露光量をEn0としたとき、下式(2)で求めたものである。
γn=(dn/dn0)/(logEn-logEn0) (2)
(但し、Enは残膜率(dn/dn0)が20〜80%となるような露光量の範囲から選ばれる。)
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA15
, 5C040KA16
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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