特許
J-GLOBAL ID:200903017067456713
反射防止膜を有する光学素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-003974
公開番号(公開出願番号):特開2006-227596
出願日: 2006年01月11日
公開日(公表日): 2006年08月31日
要約:
【課題】 垂直入射光のみならず大きな入射角度の光に対しても広い波長領域で優れた反射防止特性を示す反射防止膜を有する光学素子を提供する。【解決手段】 基材1と、その表面に形成された複数の層からなる反射防止膜2とからなり、基材1及び反射防止膜2の各層の屈折率が基材1から順に小さくなっている光学素子であって、反射防止膜2が基材1側から順に(a) 紫外線硬化樹脂層と、シリカエアロゲル層とを有する二層構成であるか、(b) フッ化マグネシウム層又は紫外線硬化樹脂層と、シリカエアロゲル層とを有する二層構成であるか、(c) 物理層厚70〜130 nmのフッ化マグネシウム層と、物理層厚150〜210 nmのシリカエアロゲル層とを有する二層構成である及びその製造方法。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基材と、その表面に形成された複数の層からなる反射防止膜とからなり、前記基材及び前記反射防止膜の各層の屈折率が前記基材から順に小さくなっている光学素子であって、前記反射防止膜が前記基材側から順に紫外線硬化樹脂層と、シリカエアロゲル層とを有する二層構成であることを特徴とする光学素子。
IPC (3件):
G02B 1/11
, G11B 7/22
, G11B 7/135
FI (3件):
G02B1/10 A
, G11B7/22
, G11B7/135 A
Fターム (15件):
2K009AA05
, 2K009AA15
, 2K009BB01
, 2K009BB11
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC09
, 2K009DD02
, 2K009DD05
, 5D789AA40
, 5D789AA43
, 5D789JA44
, 5D789JA65
, 5D789JB06
, 5D789NA05
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (9件)
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