特許
J-GLOBAL ID:200903017111794230
超音波センサ素子及び超音波アレイセンサ装置の共振周波数の調整方法及び調整装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
河宮 治
, 石野 正弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-406132
公開番号(公開出願番号):特開2005-167820
出願日: 2003年12月04日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】経時変化なく超音波センサ素子の共振周波数を調整して設定することができ超音波アレイセンサ装置の各超音波センサ素子の共振周波数のばらつきを最小化できる。【解決手段】強誘電体を2つの電極で挟設してなり、所定の共振周波数を有して超音波を検出する圧電センサにてなる超音波センサ素子20において、超音波センサ素子の素子面に対して、インクジェット印刷法を用いてインク又は膜形成材を塗布することにより超音波センサ素子の共振周波数を調整する。ここで、インク又は膜形成材の厚さ、質量、密度、濃度及び形成パターンのうちの少なくとも1つを変化させることにより超音波センサ素子の共振周波数を変化させる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
強誘電体を2つの電極で挟設してなり、所定の共振周波数を有して超音波を検出する圧電センサにてなる超音波センサ素子の共振周波数の調整方法であって、
上記超音波センサ素子の素子面に対して、インクジェット印刷法を用いてインク又は膜形成材を塗布することにより上記超音波センサ素子の共振周波数を調整するステップを含むことを特徴とする超音波センサ素子の共振周波数の調整方法。
IPC (3件):
H04R17/00
, G01S7/521
, H04R1/20
FI (3件):
H04R17/00 332A
, H04R1/20 330
, G01S7/52 A
Fターム (8件):
5D019AA08
, 5D019BB07
, 5D019HH01
, 5J083AC28
, 5J083AC40
, 5J083CA12
, 5J083CB01
, 5J083CB18
引用特許:
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