特許
J-GLOBAL ID:200903017143408200

可変コンデンサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-131681
公開番号(公開出願番号):特開2002-329788
出願日: 2001年04月27日
公開日(公表日): 2002年11月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】外部制御電圧を印加しても、安定した誘電体層の誘電率が得られる可変コンデンサを提供する。【解決手段】外部電圧の印加により誘電率が変化する誘電体層31、32を、上部電極層41、42および下部電極層21、22とで挟持して成る複数の容量発生領域a、bを互いに接続して成る可変コンデンサで、その製法は、サファイアよりなる支持基板上にTi、Auよりなる下部電極層21,22と下部端子電極23を形成、誘電体層31,32として(BaSr)TiO3をスパッタ法で1ミクロン厚に形成、Auよりなる上部電極41,42と上部端子電極43を形成し、最後に上下部端子電極層23,43を露出する様に保護膜を形成する。
請求項(抜粋):
電圧印加により誘電率が変化する誘電体層を、下部電極層と上部電極層とで挟持して複数の容量発生領域を形成するとともに、各容量発生領域を互いに接続したことを特徴とする可変コンデンサ。
IPC (2件):
H01L 21/822 ,  H01L 27/04
Fターム (4件):
5F038AC05 ,  5F038BE07 ,  5F038CA02 ,  5F038CA05
引用特許:
審査官引用 (5件)
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