特許
J-GLOBAL ID：200903017240282149
反射型マスクブランク、反射型マスク及び多層膜反射鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
阿仁屋 節雄
, 油井 透
, 清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-278081
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093454
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 反射率の熱的安定性を向上させることができる反射型マスクブランクを提供すること。【解決手段】 基板と、当該基板上に形成されて露光光を反射する多層反射膜2と、当該多層反射膜上に形成されて露光光を吸収する吸収体膜とを有する反射型マスクブランクであって、上記多層反射膜は、シリコン層7とモリブデン層6とを交互に積層した材料から構成され、上記シリコン層7とモリブデン層6との間に、モリブデンと炭素を含む材料からなる拡散防止層8、例えば炭化モリブデン、炭化二モリブデンまたはそれらの窒化物からなる拡散防止層が形成されたものである。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板と、当該基板上に形成されて露光光を反射する多層反射膜と、当該多層反射膜上に形成されて露光光を吸収する吸収体膜とを有する反射型マスクブランクであって、
上記多層反射膜は、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層とを交互に積層した材料から構成され、
上記モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層との間に、モリブデン(Mo)と炭素(C)を含む材料からなる拡散防止層が形成されたことを特徴とする反射型マスクブランク。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, G03F 1/16
, G21K 1/06
H01L21/30 531M
, G03F1/08 K
, G03F1/16 A
, G21K1/06 B
, G21K1/06 C
2H095BA10
, 2H095BC08
, 2H095BC11
, 2H095BC24
, 5F046GD10
, 5F046GD13
出願人引用 (1件)
-
多層膜X線反射鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-033249
出願人：日本電信電話株式会社
審査官引用 (6件)
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