特許
J-GLOBAL ID：200903017474485426
荷電粒子描画装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158796
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353116
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】【課題】 高い描画位置精度を実現するために、試料室内の試料ステージの試料台部分の温度を高精度に制御可能で、さらに試料と試料台の温度差を測定してその差をより早く必要範囲内としてから描画することが可能である荷電粒子描画装置及びこれを用いた描画装置を提供する。【解決手段】 試料7を保持する試料台3と、試料台3を搭載して少なくとも1方向に移動可能なステージ9、11とを、試料室2内に具備する荷電粒子描画装置において、試料台3の試料7に対向する上面に、発熱体と少なくとも1つの温度測定器を具備し、前記温度測定器により測定された温度に基づき発熱体の発熱量を制御する温度制御装置により任意の温度に保持可能である熱伝導板40が接続されており、前記ステージのベース13にベース13を冷却する装置22を具備している。
請求項（抜粋）：
試料を導入する試料室と、前記試料室内に設けられ、前記荷電粒子が前記試料面上に照射されるように前記試料を保持可能とされた試料台と、前記試料台上に設けられた発熱手段と、前記試料の温度を検出する温度測定手段と、前記試料台を搭載し、少なくとも1方向に前記試料台を移動可能とするステージと、前記ステージを保持するベースと、前記ベースに設けられた冷却手段と、前記温度測定手段の出力に基づき前記発熱手段を制御する温度制御装置とを具備し、前記発熱手段による発熱は前記荷電粒子が前記試料に照射されている間停止されることを特徴とする荷電粒子描画装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, H01J 37/20
, H01J 37/305
G03F 7/20 504
, H01J 37/20 E
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 L
2H097CA16
, 2H097GB00
, 2H097LA10
, 5C001AA01
, 5C001BB01
, 5C001CC06
, 5C034BB06
, 5F056CD05
, 5F056EA12
, 5F056EA14
