特許
J-GLOBAL ID:200903017816005138
光電面及び光検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-358050
公開番号(公開出願番号):特開2007-165478
出願日: 2005年12月12日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】量子効率の高い光電面及びこれを用いた光検出器を提供する。【解決手段】光電面10は、紫外線Lの入射に応じて光電子を生成する第1のIII族窒化物半導体層8と、III族窒化物半導体層8に隣接して設けられており、III族窒化物半導体層8のAl組成よりも高いAl組成を有すると共に、厚み方向にc軸配向性を有する薄膜結晶からなる第2のIII族窒化物半導体層6とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
紫外線の入射に応じて光電子を生成する第1のIII族窒化物半導体層と、
前記第1のIII族窒化物半導体層に隣接して設けられており、前記第1のIII族窒化物半導体層のAl組成よりも高いAl組成を有すると共に、厚み方向にc軸配向性を有する薄膜結晶からなる第2のIII族窒化物半導体層と、
を備える、光電面。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
5F088AB01
, 5F088AB02
, 5F088AB07
, 5F088BA01
, 5F088BB06
, 5F088BB10
, 5F088CB04
, 5F088DA01
, 5F088GA04
, 5F088LA05
引用特許:
出願人引用 (1件)
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光電陰極
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-046398
出願人:浜松ホトニクス株式会社
審査官引用 (4件)