特許
J-GLOBAL ID：200903017943018303

欠陥分類方法及び装置

発明者：
奥田 浩人

奥田 浩人 について

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高木 裕治

高木 裕治 について

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本田 敏文

本田 敏文 について

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宮本 敦

宮本 敦 について

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平井 大博

平井 大博 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-089686
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294360
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】ユーザの欠陥分類要求を実現するために最適な分類モデルがユーザにとって不明であるために、ユーザは必ずしも好適とは言えない分類モデルを設定して分類を行ってしまい、結果として分類性能が低下する。【解決手段】複数の分類モデル候補を自動生成し、複数の分類モデルによって算出したクラス尤度を組み合わせて分類する。組み合わせに際しては、各モデルの妥当性に関する指標、換言すれば、各分類モデル候補の算出する尤度を信頼できる程度を示す指標をも算出し、この結果を勘案して前記複数の分類モデルによって算出したクラス尤度を組み合わせて分類する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を撮像して得た画像から抽出した欠陥を分類する方法であって、 試料を撮像して欠陥の画像を得、 該欠陥の画像から欠陥の特徴量を抽出し、 該抽出した欠陥の特徴量の情報を用いて該抽出した欠陥が分類クラスに属する尤度を算出するルールベース型分類と学習型分類とを組合わせた分類モデルを少なくとも一種類以上作成し、 該少なくとも一種類以上の分類モデルを用いて前記特徴量を抽出した欠陥を分類することを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (5件)：
G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G01B15/00 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00
FI (6件)：
G01N21/956 A ,  G01N21/956 B ,  G01B11/30 A ,  G01B15/00 B ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300F
Fターム (47件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ41 ,  2F065TT02 ,  2F067AA45 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067HH06 ,  2F067KK04 ,  2F067NN01 ,  2F067RR00 ,  2F067RR31 ,  2F067RR41 ,  2F067RR44 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC04 ,  2G051BA20 ,  2G051CA20 ,  2G051CC20 ,  2G051EC01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA01 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC36 ,  5B057DC40 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA00 ,  5L096JA11 ,  5L096MA07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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