特許
J-GLOBAL ID：200903018029132013

蒸着装置、有機エレクトロルミネッセンスパネルおよび蒸着方法

発明者：
四谷 真一

四谷 真一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359699
公開番号（公開出願番号）：特開2005-120456
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】膜材料の使用効率が高く、形成するパターンを正確かつ確実に、薄膜形成対象物に形成することができ、小型化、生産性の向上を図ることができる蒸着装置、有機エレクトロルミネッセンスパネルおよび蒸着方法を提供すること。【解決手段】レール24と、基板31が設置される基板搬送テーブル32と、所定の開口パターンが設けられ、基板31より小さい蒸着マスク6を有し、前記開口を介し、基板31に材料供給源から膜材料を供給するヘッドとを備える蒸着装置1であって、可動式蒸着ヘッドユニット46は可動式蒸着ヘッドユニット46内の少なくともカバー側壁を加熱する加熱手段を有し、前記基板搬送テーブル32と可動式蒸着ヘッドユニット46とを相対的に移動させ、可動式蒸着ヘッドユニット46により、膜材料を基板31に蒸着させるよう構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
装置本体と、 薄膜形成対象物が設置される載置部と、 所定の開口パターンが設けられ、前記薄膜形成対象物より小さいマスクを有し、前記開口を介し、前記薄膜形成対象物に蒸着源から膜材料を供給するヘッドとを備える蒸着装置であって、 前記ヘッドは、該ヘッド内の少なくとも側方の内壁を加熱する加熱手段を有し、 前記載置部と前記ヘッドとを相対的に移動させ、前記ヘッドにより、前記膜材料を前記薄膜形成対象物に蒸着させるよう構成されていることを特徴とする蒸着装置。
IPC (4件)：
C23C14/24 ,  C23C14/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (4件)：
C23C14/24 C ,  C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (8件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029DB11 ,  4K029DB14 ,  4K029HA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM