特許
J-GLOBAL ID：200903018060745902
応力測定用顕微ラマン分光光度計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244485
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094618
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】顕微ラマン分光光度計において、応力分布の迅速な測定を可能にする。【構成】検出器として2次元型検出器を用い、入射スリットの幅を検出器の素子の幅以下に設定し、かつ試料台を傾け、さらにスリットと垂直方向の試料台移動機構を設けた。【効果】ラマンスペクトルの分解能を高くすることが出来、かつスリット方向の測定を一度に行うことが出来るので、応力分布の迅速な測定が可能である。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、試料にレ-ザを照射する光学手段と、1段または多段の分光器と、該分光器の入口に設けたスリットと、2次元検出器とからなるラマン分光光度計において、上記スリットに平行でかつレーザ光の光軸に対して傾斜させた試料台と、該試料台の移動機構とを設けたことを特徴とする応力測定用顕微ラマン分光光度計。
IPC (2件)：
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