特許
J-GLOBAL ID：200903018093099445
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法およびその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-054678
公開番号（公開出願番号）：特開平10-255972
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ洗浄での基板の汚染を防止でき、連続生産における基板の洗浄効果の低下を防止できるとともに洗浄室の洗浄の手間を簡略化できかつタクトタイムを短縮できる有機EL素子の製造方法およびその製造装置を提供する。【解決手段】 筒状のプラズマ発生部41を備えたプラズマ洗浄装置22を洗浄室21に設け、その内部にプラズマを発生させて電極付基板17をプラズマ洗浄した後、この電極付基板17を洗浄室21から移送路24を介して大気に晒すことなく成膜室23に搬送し、この成膜室23で電極上に有機物膜を形成する。これにより、洗浄室の内壁にプラズマが及ぶことがなくなるため、内壁から生成した不純物による基板の汚染を確実に防止できる。
請求項（抜粋）：
筒状のプラズマ発生部の内部にプラズマを発生させて基板の洗浄を行うプラズマ洗浄装置を洗浄室に設け、基板の表面に電極を形成した電極付基板を前記プラズマ発生部の内部でプラズマ処理した後、この電極付基板を前記洗浄室から大気に晒すことなく成膜室に搬送し、この成膜室で前記電極上に有機物膜を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
引用特許：
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