基板搬送用ハンドおよび基板の搬送方法並びにカラーフィルターの製造装置および製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058173
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254374
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】ガラス等の薄板状ワークに塗布後、乾燥工程までに搬送する基板搬送用ハンドにおいて、基板上塗膜に問題となる乾燥斑を製品部に発生させず、大型基板に対してもたわみを小さくできるように軽量化、高剛性化を達成した基板搬送用ハンドと基板の搬送方法並びにカラーフィルター製造装置および製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】自動搬送装置の先端に取り付けられ、板状基板を把持し、空間内を搬送する基板搬送用ハンドにおいて、該ハンドは基板周縁部より外側に配したアームと、該アームに取り付けられ、前記基板周縁部を把持する基板把持部を備えていることを特徴とする基板搬送用ハンド。

請求項（抜粋）：

自動搬送装置の先端に取り付けられ、板状基板を把持し、空間内を搬送する基板搬送用ハンドにおいて、該ハンドは基板周縁部より外側に配したアームと、該アームに取り付けられ、前記基板周縁部を把持する基板把持部を備えていることを特徴とする基板搬送用ハンド。

IPC (4件)：

B25J 15/08 , B25J 15/06 , B65G 49/06 , G02B 5/20 101

FI (5件)：

B25J 15/08 R , B25J 15/08 Z , B25J 15/06 Z , B65G 49/06 A , G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (6件)

処理装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277087 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-145396 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163771 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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