特許
J-GLOBAL ID：200903018156021972

耐スパッタ割れ性に優れた光記録媒体保護膜形成用焼結体ターゲットおよびその製造方法

発明者：
三島 昭史

三島 昭史 について

, 
白井 孝典

白井 孝典 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-277414
公開番号（公開出願番号）：特開2003-082455
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】耐スパッタ割れ性に優れた光記録媒体保護膜を形成するための焼結体ターゲットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】二酸化ケイ素:10〜30mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有する焼結体10を、この焼結体10と同じ組成の混合粉末6共にホットプレス型5内の実質的中央部に位置するように充填し、次いでホットプレスする耐スパッタ割れ性に優れた光記録媒体保護膜形成用焼結体ターゲットの製造方法。
請求項（抜粋）：
二酸化ケイ素:10〜30mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有する光記録媒体保護膜形成用焼結体ターゲットにおいて、ターゲット内部の実質的中央部に2回以上燒結された焼結体を内蔵していることを特長とする耐スパッタ割れ性に優れた光記録媒体保護膜形成用焼結体ターゲット。
IPC (4件)：
C23C 14/34 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/547 ,  G11B 7/26 531
FI (4件)：
C23C 14/34 A ,  G11B 7/26 531 ,  C04B 35/00 T ,  C04B 35/00 V
Fターム (13件)：
4G030AA47 ,  4G030AA56 ,  4G030BA14 ,  4G030BA32 ,  4G030GA11 ,  4G030GA29 ,  4K029BA64 ,  4K029BD00 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE14
引用特許：
審査官引用 (8件)
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