特許
J-GLOBAL ID：200903018432154086
四辺形基板の受渡機構、および四辺形基板の研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 貞二 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-300348
公開番号（公開出願番号）：特開2003-103458
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 四辺形基板の受け渡しのできる受渡機構および四辺形基板を研磨することができる研磨装置を提供する。【解決手段】 四辺形基板を受け渡す四辺形基板の受渡機構において、基板Wを受ける基板受け台107と、該基板受け台107上に載置される基板Wの受渡機構に対する位置決めを行うように構成された水平方向にスライドする第2の位置決めピン112とを有する、四辺形基板の受渡機構とする。基板Wを研磨するために保持するよう構成された研磨ヘッド21と、基板Wを研磨ヘッド21に保持させるために押し付けるよう構成された受渡機構としてのプッシャー101と、プッシャー101または研磨ヘッド21に、プッシャー101の押し付け方向に軸線を向けて設けられ、プッシャー101および研磨ヘッド21間の相対的位置決めを行うよう構成された第1の位置決めピン111とを備える四辺形基板の研磨装置とする。
請求項（抜粋）：
外周が四辺形に形成された基板を受け渡す四辺形基板の受渡機構において;前記基板を受ける基板受け台と;該基板受け台上に載置される前記基板の受渡機構に対する位置決めを行うように構成された水平方向にスライドする第2の位置決めピンとを備える;四辺形基板の受渡機構。
IPC (3件)：
B24B 41/06
, B23Q 3/18
, B24B 37/04
B24B 41/06 A
, B24B 41/06 L
, B23Q 3/18 A
, B24B 37/04 E
, B24B 37/04 Z
3C016CE05
, 3C016HA04
, 3C016HA13
, 3C034AA08
, 3C034AA13
, 3C034BB75
, 3C034BB84
, 3C058AA07
, 3C058AB03
, 3C058AC01
, 3C058CA01
, 3C058CB02
, 3C058CB05
, 3C058DA17
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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