特許
J-GLOBAL ID：200903018508239094
剥離処理用リンス液組成物及びそれを用いた基板の処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340858
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239866
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】基板上の微細部分の洗浄が良好に行える上に、Al、Al-Si、Al-Si-Cuなどの金属薄膜に腐食を起こすことのない剥離処理用リンス液組成物及びそれを用いた基板の処理方法を提供すること。【解決手段】フッ化水素酸と金属イオンを含まない塩基との塩を主要成分とする剥離液で処理した基板をリンス処理するためのリンス液組成物であって、前記リンス液組成物が低級アルキレングリコールとそれ以外の水溶性有機溶媒とを含有することを特徴とする剥離処理用リンス液組成物及び前記剥離処理用リンス液組成物で剥離処理後の基板をリンス処理する方法。
請求項（抜粋）：
フッ化水素酸と金属イオンを含まない塩基との塩を主要成分とする剥離液で処理した基板をリンス処理するためのリンス液組成物であって、前記リンス液組成物が低級アルキレングリコールとそれ以外の水溶性有機溶媒とを含有することを特徴とする剥離処理用リンス液組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/42
, C11D 7/26
, C11D 7/32
, C11D 7/50
, H01L 21/027
, H01L 21/308
G03F 7/42
, C11D 7/26
, C11D 7/32
, C11D 7/50
, H01L 21/308 G
, H01L 21/30 572 B
