特許
J-GLOBAL ID：200903018527418986
光スイッチ及び光スイッチの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030452
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240249
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】可動電極板が可動できるまでに至っていない製造段階において、フレクチュア部の破損を容易に検出することが可能な光スイッチを提供する。【解決手段】フレクチュア部23、24に導体配線23a、24aを成膜形成し、この導電配線23a、24aの少なくとも2ヶ所を外部からの電気的な接続が可能なように構成する。そして、この導電配線23a、24aの導通チェックを行うことにより、フレクチュア部23、24の破損検出を行う。つまり、フレクチュア部23、24が破損していた場合、その破損に伴ってこの導体配線23a、24aも断線するため、この導体配線23a、24aの導通がないことを確認することにより、フレクチュア部23、24が破損していることを判断することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定電極基板と、該固定電極基板から所定の間隔をあけて対向して配置され、フレクチュア部を介し、該固定電極基板と機械的に結合された可動電極板と、該可動電極板の上記固定電極基板と反対の面に形成されたマイクロミラーとを有し、該可動電極板を該固定電極基板面に垂直な方向に駆動し、該電極基板面と平行に入射された上記光ビームを上記マイクロミラーで反射させるか否かによって、該光ビームの出射系統を切り替える光スイッチにおいて、
上記フレクチュア部には、該フレクチュア部と、該フレクチュア部を上記固定電極基板へ結合する外縁部と、を渡る部分を有する導体配線が成膜形成され、
上記導体配線は、少なくとも、上記フレクチュア部と上記外縁部とを渡る部分の導通検知が可能な構成とされている、
ことを特徴とする光スイッチ。
IPC (3件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C5/00
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C5/00
2H041AA15
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ06
, 2H041AZ08
