特許
J-GLOBAL ID：200903018527579025

アクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置

発明者：
酒井 真理

酒井 真理 について

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矢崎 士郎

矢崎 士郎 について

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島田 勝人

島田 勝人 について

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高橋 哲司

高橋 哲司 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195282
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025225
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 圧電体層の圧電特性を向上したアクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 キャビティを画成した基板の一方面側に弾性膜50を介して圧電体層70を含む圧電振動子を具備するアクチュエータ装置において、前記圧電振動子に駆動力が負荷される際の前記圧電体層70の応力が、前記圧電体層70の成膜時の応力と同等か又は引張り方向に大きいことにより、圧電体層70の圧電特性が向上する。
請求項（抜粋）：
キャビティを画成した基板の一方面側に弾性膜を介して圧電体層を含む圧電振動子を具備するアクチュエータ装置において、前記圧電振動子に駆動力が負荷される際の前記圧電体層の応力が、前記圧電体層の成膜時の応力と同等か又は引張り方向に大きいことを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C
Fターム (8件)：
2C057AF52 ,  2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG57 ,  2C057AG93 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (10件)
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