ガスセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩入明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179102
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340910
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】湿度依存性が小さく、経時安定性の高い、パルス駆動型ガスセンサを提供する。【構成】センサ本体6を熱収縮チューブ4に収容し、活性炭フィルタ8を装着する。チューブ4を収縮させて、リード14,16,18を封じ、フィルタ8を保持させる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上にヒータと金属酸化物半導体膜とを設け、このヒータを瞬間的に発熱させて、金属酸化物半導体膜を瞬間的に加熱するようにした、ガスセンサにおいて、ガスセンサのハウジングに、水の収着剤を保持させ、この収着剤を介して外気をガスセンサ内に導入するようにしたことを特徴とする、ガスセンサ。

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