特許
J-GLOBAL ID：200903018646865710
バンプ形成用シートおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-359405
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193334
出願日： 2002年12月11日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】従来のバンプ形成用シートは、少しの振動や衝撃、或いは擦れ等で穴からはんだボールが脱落したり、一つの穴の中に複数のはんだボールが入っていたりすることがあり、ウエハー素子のような微小な電極へのはんだバンプ形成を完全に行うことができなかった。【解決手段】本発明のバンプ形成用シートは、耐熱シートにバンプ形成箇所と同一位置で同数の有底穴が刻設されており、該有底穴の壁面や底面、或いはその両方に粘着層が露呈している。また本発明のバンプ形成用シートの製造方法は、上側耐熱シートと下側耐熱シートの間に粘着層を挟んで多層構成の耐熱シートとし、該耐熱シートにレーザー照射装置で有底穴を刻設する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
有底穴内にはんだボールが挿入された耐熱シートを電子部品用基板に載置した状態で加熱することにより電子部品用基板の電極にはんだバンプを形成するバンプ形成用シートにおいて、有底穴の内部に粘着層が露呈していて、しかも有底穴の中にははんだボールが該粘着層で粘着保持されていることを特徴とするバンプ形成用シート。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/92 604F
, H01L21/92 604H
