加速度センサ及び三軸加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266323
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160344
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】加速度検出電極から出力電極までの間の静電容量が原因となって発生する出力の低下を抑制できる加速度センサを得る。【解決手段】重錘固定領域5A内において、接続線LX1と圧電セラミックス基板5との間に低誘電率層8を形成する。中間領域5Bの外側において、接続線LX2,LY1,LZ4及び出力電極OXと圧電セラミックス基板5との間に低誘電率層9を形成する。低誘電率層8及び9を、圧電セラミックス基板5の比誘電率よりも比誘電率が十分に小さい低誘電率物質により形成する。低誘電率層8,9の存在により、配線パターン及び出力電極と対向電極パターンとの間に生じる静電容量が小さくなって、この静電容量に蓄積される自発分極電荷の量を少なくできる。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックス基板と、前記圧電セラミックス基板の表面上に形成された、加速度に応じた信号を出力する加速度検出用電極、前記加速度検出用電極の出力を外部に出力する出力電極、及び前記加速度検出用電極と前記出力電極とを電気的に接続する配線パターンを含む表面電極パターンと、前記圧電セラミックス基板の裏面上に形成されて、少なくとも前記加速度検出用電極と対向する対向電極パターンと、前記圧電セラミックス基板に対して固定状態に配置されて前記加速度検出用電極が形成された領域に前記加速度に応じた応力を発生させる重錘と、少なくとも前記配線パターンの全部またはその主要部と前記圧電セラミックス基板との間に配置された低誘電率層とを具備し、前記低誘電率層は、前記圧電セラミックス基板の比誘電率よりも比誘電率が十分に小さく、前記圧電セラミックス基板の前記加速度検出用電極と前記対向電極パターンとの間の部分が分極処理されている加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , G01L 5/16 , G01P 15/00

FI (3件)：

G01P 15/09 , G01L 5/16 , G01P 15/00 K

引用特許：

出願人引用 (6件)

三軸圧電加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344261 出願人：マイクロジェニックス株式会社
加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019595 出願人：松下電器産業株式会社
圧電型物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-352955 出願人：ミヨタ株式会社

全件表示

審査官引用 (6件)

三軸圧電加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344261 出願人：マイクロジェニックス株式会社
加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019595 出願人：松下電器産業株式会社
圧電型物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-352955 出願人：ミヨタ株式会社

全件表示

前のページに戻る