特許
J-GLOBAL ID：200903018894557984
軟X線発生装置及びX線検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120664
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307669
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：
【要約】【課題】 厚さの薄い試料、X線吸収が少ない試料、微小試料について、コントラストのある鮮明なX線画像を得ることができるX線検査装置を提供する。【解決手段】 フィラメント10からの電子ビーム1を、高電圧を印可してアノード19のパイプ26中に導入し、電子レンズ8で収束して、厚みがAl当量0.2mm以下に製作されたX線透過窓5上に成膜されたターゲット金属2にマイクロフォーカスさせる。そのターゲット金属2から発生する軟X線成分を多く含んだ透過X線4を試料12にあて、感度の高い背面照射型X線検出器13に透過X線を入力する。X線透過窓5の厚みが薄いので、コントラストのある鮮明なX線画像を得ることができる。
請求項（抜粋）：
陰極フィラメントから放出された電子を加速収束させて陽極ターゲットに衝突させ、透過方向にX線を発生させるX線発生装置において、軟X線(1〜10keV)に対する透過率が同条件下で0.2mm厚のAlを窓材とした場合の透過率以上となるよう前記陽極ターゲット金属を成膜したX線透過窓材の厚みを設定したことを特徴とする軟X線発生装置。
IPC (8件)：
H01J 35/08
, G01N 23/04
, G21K 5/00
, G21K 5/02
, G21K 5/08
, H01J 35/18
, H05G 1/00
, H05G 1/02
H01J 35/08 F
, G01N 23/04
, G21K 5/00 W
, G21K 5/02 X
, G21K 5/08 X
, H01J 35/18
, H05G 1/02 Z
, H05G 1/00 G
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001AA20
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001SA10
, 2G001SA30
, 4C092AA01
, 4C092AB04
, 4C092AC08
, 4C092BD05
, 4C092BD12
, 4C092BD20
, 4C092DD06
