特許
J-GLOBAL ID：200903019081961369

赤外線光源装置と赤外線ガス分析計

発明者：
岸 直輝

岸 直輝 について

, 
原 仁

原 仁 について

, 
渡辺 哲也

渡辺 哲也 について


出願人/特許権者：
横河電機株式会社

横河電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-185997
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010423
出願日： 2004年06月24日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 性能、寿命が向上され、製作が容易な寿命が向上され製作赤外線光源装置を実現する。【解決手段】 基板にマイクロブリッジ状に形成されるフィラメントを有し、このフィラメントに通電して発熱させることにより赤外線を発光させる赤外線光源装置において、 厚さ方向に不純物濃度が均等になるように不純物が添加されつつ堆積されたポリシリコンからなりエッチング形成されたされてエッチング形成されフィラメントを具備したことを特徴とする赤外線光源装置である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板にマイクロブリッジ状に形成されるフィラメントを有し、このフィラメントに通電して発熱させることにより赤外線を発光させる赤外線光源装置において、 厚さ方向に不純物濃度が均等になるように不純物が添加されつつ堆積されたポリシリコンからなりエッチング形成されたされてエッチング形成されフィラメント を具備したことを特徴とする赤外線光源装置。
IPC (5件)：
G01N 21/01 ,  B81B 1/00 ,  G01J 1/08 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/61
FI (5件)：
G01N21/01 D ,  B81B1/00 ,  G01J1/08 ,  G01N21/35 Z ,  G01N21/61
Fターム (14件)：
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059KK01 ,  2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB18 ,  2G065AB23 ,  2G065BA14 ,  2G065BB26 ,  2G065DA08 ,  2G065DA15
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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