特許
J-GLOBAL ID：200903019129338766
研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉武 賢次 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334107
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142435
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨傷の発生が著しく少なく、洗浄性に優れた研磨用組成物の提供。【解決手段】 コロイダルシリカ、少なくとも一つの重炭酸塩、および水、を含んでなる研磨用組成物であって、研磨用組成物中の不純物元素の各元素濃度がそれぞれ100ppb以下である研磨用組成物。さらに過酸化水素を含んでなることもできる。
請求項（抜粋）：
下記(a)〜(c)(a)コロイダルシリカ、(b)重炭酸アンモニウム、重炭酸リチウム、重炭酸カリウム、重炭酸ナトリウム、およびそれらの混合物からなる群から選択される少なくとも一つの重炭酸塩、および(c)水、の各成分を含んでなる研磨用組成物であって、研磨用組成物中の2A族、3A族、4A族、5A族、6A族、7A族、8族、1B族、2B族、ランタノイド、およびアクチノイドに包含される各元素、ならびにアルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、スズ、鉛、ビスマス、フッ素、および塩素の各元素濃度がそれぞれ100ppb以下であることを特徴とする研磨用組成物。
IPC (5件)：
H01L 21/304 622
, B24B 37/00
, B24B 57/02
, C09K 3/14 550
, C09K 3/14
H01L 21/304 622 D
, B24B 37/00 H
, B24B 57/02
, C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 Z
3C047FF08
, 3C047GG20
, 3C058AA07
, 3C058CA01
, 3C058CB02
, 3C058DA02
, 3C058DA12
