特許
J-GLOBAL ID：200903019318369125

検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法

発明者：
楠瀬 治彦

楠瀬 治彦 について

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大田 展

大田 展 について

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青山 一樹

青山 一樹 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-313685
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125967
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 簡便に高い検出感度を得ることができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明の一態様にかかる検査装置はレーザ光源101と、試料表面に光スポットを形成する対物レンズ102と、対物レンズ102から試料107に入射した光ビームのうち、試料表面で反射した反射光に基づく出力信号を出力する光検出器110と、試料107と光スポットとの相対的な位置を走査ラインに沿って走査するステージ108であって、前記光スポットが隣接する走査ラインの光スポットと重複した領域を照明するように走査するステージ108と、光検出器110からの出力信号に基づいて欠陥候補を検出する欠陥候補検出部202と、欠陥候補検出部202において検出された欠陥候補間の距離に基づいて欠陥か否かを判定する欠陥判定部208とを備えるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光ビームを発生する光源と、 前記光源から出射した光ビームを集光して試料表面に光スポットを形成する対物レンズと、 前記対物レンズから前記試料に入射した光ビームのうち、前記試料表面で反射した反射光、前記試料の欠陥箇所からの散乱光又は前記試料を透過した透過光を受光し、受光した光の光量に基づく出力信号を出力する光検出器と、 前記試料と前記光スポットとの相対的な位置を走査ラインに沿って走査する走査手段であって、前記光スポットが隣接する走査ラインの光スポットと重複した領域を照明するように走査する走査手段と、 前記光検出器からの出力信号に基づいて欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、 前記欠陥候補検出部において検出された欠陥候補間の距離に基づいて欠陥か否かを判定する欠陥判定部とを備える検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G03F1/08 S ,  H01L21/66 J ,  H01L21/30 502V
Fターム (53件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR05 ,  2F065RR06 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051DA07 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2H095BC26 ,  2H095BD04 ,  2H095BD05 ,  2H095BD26 ,  2H095BD27 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB15 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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