特許
J-GLOBAL ID：200903019422901149

粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法

発明者：
村田 秋桐

村田 秋桐 について

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山本 孝幸

山本 孝幸 について

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金田 充宏

金田 充宏 について

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水谷 かおり

水谷 かおり について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (3件)： 梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-190696
公開番号（公開出願番号）：特開2008-019315
出願日： 2006年07月11日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
【課題】 基板処理装置内の搬送性および装置内に付着している異物の除去性の両者に優れている、クリーニングシートに好適な粘着剤層およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有し、凹部以外の平面状表面が、中心線平均粗さ(Ra)が0.01〜0.3μmであることを特徴とする粘着剤層。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有し、凹部以外の平面状表面が、中心線平均粗さ(Ra)が0.01〜0.3μmであることを特徴とする粘着剤層。
IPC (5件)：
C09J 133/00 ,  C09J 4/00 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/304 ,  B08B 1/00
FI (5件)：
C09J133/00 ,  C09J4/00 ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/304 641 ,  B08B1/00
Fターム (39件)：
3B116AA47 ,  3B116BA01 ,  3B116BA22 ,  3B116BC07 ,  4J004AA01 ,  4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004BA02 ,  4J004BA04 ,  4J004CA02 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CE02 ,  4J004FA10 ,  4J004GA01 ,  4J040DF001 ,  4J040DF031 ,  4J040FA142 ,  4J040FA272 ,  4J040FA292 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA25 ,  4J040GA26 ,  4J040HB31 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA11 ,  4J040KA16 ,  4J040LA06 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040QA09
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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