ペリクル製造用治具およびこれを用いたペリクルの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249151
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066376
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】本発明は、使用後の接着層を形成し直すことなく繰り返し使用することができるペリクル製造用治具を提供することを主目的とするものである。【解決手段】開口部を有する支持枠と、前記開口部の周囲に設けられた接着層とからなり、前記接着層が0°C〜300°Cの範囲内にガラス転移温度を有する高分子材料からなるペリクル製造用治具である。

請求項（抜粋）：

開口部を有する支持枠と、前記開口部の周囲に設けられた接着層とからなり、前記接着層が0°C〜300°Cの範囲内にガラス転移温度を有する高分子材料からなることを特徴とするペリクル製造用治具。

Fターム (1件)：

2H095BC39

引用特許：

審査官引用 (4件)

含フッ素樹脂薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-173656 出願人：三井石油化学工業株式会社
ペリクル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-103553 出願人：信越化学工業株式会社
リソグラフィー用ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-075671 出願人：信越化学工業株式会社

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