特許
J-GLOBAL ID:200903019548388617
有機材料の評価装置及び評価方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉田 研二
, 石田 純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-183587
公開番号(公開出願番号):特開2008-014668
出願日: 2006年07月03日
公開日(公表日): 2008年01月24日
要約:
【課題】有機材料の内部の欠陥情報などを知る。【解決手段】有機材料の評価装置であって、有機デバイスへ所定の波長の単色光を所定のタイミングと強度で照射する単色光照射部26と、所定のタイミングと電圧強度で電圧を印加する電圧パルス発生部20と、所定のタイミングで有機材料のインピーダンスを検出するインピーダンス計測部22を備える。装置制御部40が、それらの各部での条件、測定を制御し、入射単色光と印加パルス電圧とインピーダンスとの対応関係を検出する。例えば、入射光のエネルギに対する有機材料のキャパシタンスの変化量を求めることで有機材料のバンドギャップ内準位の欠陥などに起因した深い準位を評価でき、デバイスの特性・信頼性を評価することが可能となる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
有機材料の評価装置であって、
有機材料に対し所定の波長の単色光を所定のタイミングと強度で照射する単色光照射手段と、
前記有機材料に所定のタイミングで所定電圧強度のパルス電圧を印加するための電圧パルス発生手段と、
前記有機材料のインピーダンスを検出するインピーダンス計測手段と、
入射単色光と印加パルス電圧とインピーダンスとの対応関係を検出する対応関係検出手段と、を有し、
検出した対応関係に基づき有機材料を評価することを特徴とする有機材料の評価装置。
IPC (3件):
G01N 27/02
, G01N 27/22
, H05B 33/10
FI (3件):
G01N27/02 Z
, G01N27/22 C
, H05B33/10
Fターム (24件):
2G060AD05
, 2G060AE01
, 2G060AE29
, 2G060AF03
, 2G060AF06
, 2G060AF10
, 2G060AG11
, 2G060AG15
, 2G060EA05
, 2G060EB03
, 2G060GA01
, 2G060HA03
, 2G060HC08
, 2G060HC13
, 2G060HC19
, 2G060HC21
, 2G060HC22
, 2G060HD03
, 2G060HE03
, 2G060KA09
, 3K107AA01
, 3K107CC01
, 3K107CC21
, 3K107GG56
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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