照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-358749
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182933
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】開口絞りにおける光損失を良好に抑えつつ輪帯照明や4極照明のような変形照明を行う。【解決手段】光源手段(1)からの光束を基準光軸(AX)に対してほぼ対称に斜め方向から第1オプティカルインテグレータ(6)へ入射する光束に変換するための斜め光束形成手段(4,5)が配置されている。その結果、第2オプティカルインテグレータ(8)により形成される第2多数光源として輪帯状の光源または基準光軸から偏心した複数の光源が形成される。

請求項（抜粋）：

光束を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源からなる第1多数光源を形成するための第1オプティカルインテグレータと、該第1オプティカルインテグレータにより形成される第1多数光源からの光束に基づいてより多数の光源からなる第2多数光源を形成するための第2オプティカルインテグレータと、該第2オプティカルインテグレータにより形成される第2多数光源からの光束を集光して被照射面を照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記第2多数光源として輪帯状の光源または基準光軸から偏心した複数の光源を形成するために、前記光源手段からの光束を前記基準光軸に対してほぼ対称に斜め方向から前記第1オプティカルインテグレータへ入射する光束に変換するための斜め光束形成手段が配置されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 527 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D

Fターム (7件)：

2H052BA02 , 2H052BA08 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 5F046CB05 , 5F046CB13 , 5F046DA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-334442 出願人：株式会社ニコン
露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-046644 出願人：キヤノン株式会社
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-163848 出願人：株式会社ニコン

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