特許
J-GLOBAL ID：200903019746871617

光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット及び該ターゲットの製造方法並びに該ターゲットを使用して保護膜を形成した光記録媒体

発明者：
矢作 政隆

矢作 政隆 について

, 
高見 英生

高見 英生 について


出願人/特許権者：
株式会社日鉱マテリアルズ

株式会社日鉱マテリアルズ について


代理人 (1件)： 小越 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353119
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155562
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 微細結晶粒を備え97%以上の高密度を有する相変化型光記録媒体保護膜形成用ターゲットを安定して低コストで製造できるようにするとともに、該ターゲットの色むら等の変色を防止又は抑制することにより製品歩留りを上げ、かつ該ターゲットを用いてスパッタリングすることによって光記録媒体の品質を向上させる。【解決手段】 硫化亜鉛とケイ酸化物の複合体からなるスパッタリングターゲットにおいて、該ターゲットに含まれるハロゲン化物又はハロゲン元素の少なくとも1種類以上の総量が、ハロゲン元素換算で30ppm以下であることを特徴とする光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。
請求項（抜粋）：
硫化亜鉛とケイ酸化物の複合体からなるスパッタリングターゲットにおいて、該ターゲットに含まれるハロゲン化物又はハロゲン元素の少なくとも1種類以上の総量が、ハロゲン元素換算で30ppm以下であることを特徴とする光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (3件)：
C23C 14/34 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/26 531
FI (3件)：
C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 534 N ,  G11B 7/26 531
Fターム (13件)：
4K029BA46 ,  4K029BA51 ,  4K029BA64 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D029LA17 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE11 ,  5D121EE13
引用特許：
審査官引用 (5件)
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